产品简介
Xeryon公司提供各种压电驱动的精密旋转平台。这些旋转台的误差在径向、轴向和倾斜方向上都非常小。旋转角度不受限制，可以通过集成的光学编码器进行控制，可确保精确的闭环分辨率和重复性。
您可以在粘滑驱动旋转台（XRT-A-25）和超声波驱动旋转台（XRT-U-30或XRT-U-40）之间进行选择。我们所有的精密旋转平台均可根据您的需求进行定制，比如专门用于真空环境或专门由非磁性材料制成。
型号选择
类型 | 转子直径 （mm） | 编码器分辨率（μrad） | 可选 |
误差主动补偿 | 真空兼容性 （10-6mbar） | 无磁材料 |
XRT-A | -25 | -109 | -AC | -HV | -NM |
XRT-U | -30 | -109 -49 -19 -3 | / |
-40 |
-60 |
产品性能
/ | 单位 | XRT-A-25-109 | XRT-A-25-109-AC | XRT-U-x-109 | XRT-U-x-49 | XRT-U-x-19 | XRT-U-x-3 |
编码器 | 分辨率 | μrad arcsec μ° | 109 22.5 6250 | 109 22.5 6250 | 49 10.1 2810 | 19 3.92 1090 | 3 0.62 170 |
精度 | % | ±0.017 |
位移台 | 定位 | 分辨率 =最小步长 =最小增量运动 | μrad arcsec μ° | 125 25 7100 | 125 25 7100 | 50 10 2800 | 25 5 1400 | 15 3 860 |
单向重复定位精度 | μrad arcsec μ° | ±125 ±25 ±7100 | ±125 ±25 ±7100 | ±50 ±10 ±2800 | ±25 ±5 ±1400 | ±15 ±3 ±860 |
双向重复定位精度 | μrad arcsec μ° | ±250 ±50 ±14200 | ±250 ±50 ±14200 | ±100 ±20 ±5600 | ±50 ±10 ±2800 | ±30 ±6 ±1720 |
/ | XRT-U-30 | XRT-U-40 | XRT-U-60 |
速度 | 最大速度 | °/s | 12 | 720 | 540 | 360 |
最小速度 | °/s | 0.012 | 0.008 | 0.006 | 0.004 |
稳定性 | % | 1 |
误差运动 ( P-P ) | 径跳 | μm | 1 | 0.5 | 1 | 2 | 5 |
端跳（中心） | μm | 0.5 | 0.5 | 1 | 2.5 |
偏摆 | μrad | 50 | 50 | 100 | 250 |
机械参数
| 单位 | XRT-A-25-109 | XRT-A-25-109-AC | XRT-U-30 | XRT-U-40 | XRT-U-60 | 容许误差 |
尺寸 | mm | 40×31×15 | 40×35×21 | 50×46×21 | 70×70×34 | ±0.1 |
转子直径 | mm | 28 | 32 | 43 | 65 | ±0.1 |
孔径 | mm | 9 | 7 | 12.7 | 25.4 | ±0.1 |
质量 | g | 55 | 82 | 130 | 450 | ±5% |
负载 | kg | 0.1 | 0.5 | 1 | 5 | max. |
负载 轴向 径向 倾斜 | N N mNm | 1 0.5 6 | 25 25 0.15 | 35 35 0.2 | 100 100 1 | max. |
